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반도체·디스플레이 제조 장비 생산성 높이는 청정·초정밀 자기부상 기술

글쓴이 : Riushop 날짜 : 2018-03-30 (금) 17:38 조회 : 135

EUV라인의 초기 투자 규모, 2020년까지 60억불 수준
10나노 2세대 로직 공정 양산


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